微纳制作实验室----中国科学院深圳先进技术研究院

siat.cas.cn

您当前所在位置：首页 > 机构设置 > 支撑部门 > 开放技术平台 > 微纳制作实验室

　微机电系统技术是一种包含光、机、电、材料、控制、物理、生物和化学等多重技术领域的新型微小化与整合型系统化的制造技术。本实验室致力于微系统核心技术及元件产品的开发。建立生物微机电系统相关器件或系统的模型，设计与合成新的功能聚合物、以及MEMS器件结构的加工制造技术，聚合物材料的微力学性质，相关新型微传感器、制动器的电路研究，用于检测技术的生物芯片、血压计、新药开发、灵巧药丸（Smart Pill）、灵巧导管、用于远程检测的集成无线微型仪器、微型诊断与治疗工具、人工器官。

　　实验室配置了十万级净化间，拥有以下仪器设备：
　 1、URE－2000/35型紫外深度光刻机
　　2、匀胶机
　 3、烤胶机
　 4、等离子清洗器
　 5、XP-1轮廓仪（台阶仪）

URE－2000/35型紫外深度光刻机

凯美特匀胶机、烤胶机

PDC-M等离子清洗器

XP-1轮廓仪（台阶仪）